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| 名 Chemische Gasphasenabscheidung (engl: chemical vapor deposition, CVD, ein Beschichtungsverfahren, z. B. für Wafer) [技] |
化學氣相沉積 |
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| 名 Chemical Vapor Deposition, Chemische Dampfphasenabscheidung, CVD |
化學氣相沉澱 |
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