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| S Chemische Gasphasenabscheidung (engl: chemical vapor deposition, CVD, ein Beschichtungsverfahren, z. B. für Wafer) [Tech] |
化学气相沉积 |
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| S Chemical Vapor Deposition, Chemische Dampfphasenabscheidung, CVD |
化学气相沉淀 |
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